無塵車間工程潔凈室亦稱為無塵室或清凈室,它是污染控制的基礎,沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產。
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在 FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、更佳化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程式以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。
無塵車間一般包括無塵區、準無塵區和輔佐區三部分,無塵車間工程的平面安置能夠有以下幾種方法:
外廊盤繞式:外廊能夠有窗和無窗,兼作觀賞和放置一些設備用,有的在外廊內設直勤采暖。外窗有必要是雙層密封窗。
內廊式:無塵車間設在外圍,而走廊設在內部,這種走廊的無塵度等級一般都較高,乃至和無塵車間同級。
兩頭式:無塵區設在一邊,另一邊設準無塵和輔佐用房。
中心式:為了節省用地、縮短管線,能夠無塵區為中心,上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來,這種方法避開室外氣候對無塵區的影響,削減了冷熱能耗,利于節能。