萬級無塵車間亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎,沒有無塵室,污染敏感零件不可能批量生產。
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在FED-STD-2里面,無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。
無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。
千級無塵室與萬級無塵室的區別主要是潔凈度不同。潔凈室不同,換氣次數就不同,換氣次數不同,灰塵顆粒容量不一樣,過濾塵埃粒子就不同,風量、百設備、造價就不同。千級無塵室級別比萬級高,因此造價也高。
千級無塵車間的濕度要求是55±5%,千級無塵室5微米的灰塵顆粒小于5萬個。
萬級是指:一立方英尺度內不超過10000顆粒徑為0.5微米的塵埃。大或等于0.5微米的粒子數不得超過350000個(這個是1立方米),大或等于5微米的粒子數不得超過2000個
萬級無塵室知對溫度、濕度無特殊要求時,以穿著潔凈工作服不產生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈室濕度控制在50-70%。