萬級無塵車間主要之作用在于控制商品(如硅芯片等)所觸摸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使商品能在一個杰出之環境空間中出產、制作,此空間咱們稱之為萬級無塵車間。
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按照國際慣例,無塵凈化等級主要是依據每立方米空氣中粒子直徑大于區分規范的粒子數量來規則,也即是說所謂無塵并非100%沒有一點塵埃,而是控制在一個十分微量的單位上。
當然這個規范中契合塵埃規范的顆粒相關于咱們多見的塵埃已經是小的微乎其微,可是關于光學結構而言,哪怕是一點點的塵埃都會發生十分大的負面影響,所以在光學結構商品的出產上,萬級無塵車間無塵是必定的請求。
萬級無塵車間每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵規范的A級。
目前萬級無塵車間應用在芯片級出產加工的無塵規范關于塵埃的請求高于A級,這么的高標主要被應用在一些等級較高芯片出產上。
5μm及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也即是業內俗稱的1K等級。